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Tétrachlorure de silicium — Wikipédia

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Tétrafluorure de silicium Des noms Noms IUPAC , Tétrafluorosilane Tétrafluorure de silicium , Autres noms Fluorure de silicium Fluoro acide air , Identifiants Numero CAS , 7783-61-1 ; Modèle 3D JSmol Image interactive ; Carte Info ECHA : 100,029,104 : PubChem CID , 24556 ; Numéro RTECS : VW2327000 ; UNII : K60VCI56YO ; Numéro UN : 1859 Tableau de bord CompTox EPA DTXSID0064830

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Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium de formule SiF 4 qui se présente sous forme d’un gaz incolore dont la plage d’existence à l’état liquide est singulièrement étroite : entre −90 °C et −86 °C, Utilisation, En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé dans l’implantation ionique, et, en conjonction

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